毋庸置疑,高亮 LED 将成为未来一代汽车的主要特征。这是由于 LED 相对于传统的白炽光照明方案,具备许多重要优势。同时,采用 LED 也可带动技术上,甚至汽车设计风格上的变化。但是,正如任何革新技术,LED 在广泛运用于汽车照明前,仍有许多困难需要克服。 可靠性与持久性 LED 的相对预期寿命为 5 万小时,而卤素钨灯为 2 万小时,卤素白炽灯为 3 千小时。相对于白炽灯...[详细]
近日,中国科学院大学微电子学院与中芯国际集成电路制造有限公司在产学研合作中取得新进展,成功在光刻工艺模块中建立了极坐标系下规避显影缺陷的物理模型。通过该模型可有效减小浸没式光刻中的显影缺陷,帮助缩短显影研发周期,节省研发成本,为确定不同条件下最优工艺参数提供建议。该成果已在国际光刻领域期刊Journal of Micro-Nanolithography MEMS and MOEMS发表。 ...[详细]